ionbeam lithography перевод

• ion-beam lithography
  ионно-лучевая литография, ионолитография

• ionbeam:    ion-beamионно-лучевой - ion-beam micromachining
• lithography:    1) литография2) литографирование, плоская печать
• ionbeam bender:    ion-beam benderтлв магнит для ионной ловушки